Yarımkeçirici Təmiz Otaq Temperatur Rütubətinə Nəzarət Sxemi üçün Temperatur və Rütubət Sensoru
Məhsul nümayişi
Temperaturvətəmiz məkanın rütubəti əsasən proses tələblərinə uyğun olaraq müəyyən edilir, lakin proses tələblərinə cavab vermək şərti ilə rahatlıq hissi nəzərə alınmalıdır.Havanın təmizliyi tələblərinin təkmilləşdirilməsi ilə temperatur və rütubət üçün getdikcə daha sərt tələblər tendensiyası yaranmışdır.
Emal dəqiqliyi getdikcə daha incə olduğundan, temperaturun dəyişmə diapazonu getdikcə daha az olur.Məsələn, geniş miqyaslı inteqral sxem istehsalının litografik ekspozisiya prosesində, maska materialı kimi şüşə və silikon vafli arasında istilik genişlənmə əmsalı fərqinin daha kiçik və daha kiçik olması tələb olunur.Diametri 100 um silikon gofret, temperatur artımı 1 dərəcə, 0.24um xətti genişlənməsinə səbəb olacaq, buna görə də ± 0.1 dərəcə bir temperatur olmalıdır, eyni zamanda rütubət dəyəri ümumiyyətlə aşağıdır, çünki insanlar tərləyir, məhsulun çirklənməsi, xüsusilə natrium yarımkeçirici atelyedən qorxur, bu atelye 25 dərəcədən çox olmamalıdır.
Yüksək rütubət daha çox problem yaradır.Nisbi rütubət 55% -dən çox olduqda, soyuducu su borusunun divarında şeh əmələ gələcək və bu, dəqiq cihazlarda və ya sxemlərdə baş verərsə, müxtəlif qəzalara səbəb olacaqdır.Nisbi rütubət 50% olduqda, paslanmaq asandır.Bundan əlavə, rütubət çox yüksək olduqda, silisium çipinin səthinə yapışan toz, çıxarılmağa müqavimət göstərmək üçün səthə kimyəvi şəkildə adsorbsiya ediləcək.Nisbi rütubət nə qədər yüksək olarsa, yapışmanı aradan qaldırmaq çətindir, lakin nisbi rütubət 30% -dən aşağı olduqda, hissəciklər elektrostatik qüvvənin təsiri ilə səthə asanlıqla adsorbsiya olunur və çox sayda yarımkeçirici qurğular parçalanmağa meyllidir.Gofret istehsalı üçün optimal temperatur diapazonu 35-45% təşkil edir.
Buna görə də, temperatur və rütubətə nəzarət xüsusilə vacibdir, HENGKO sizə bir sıra təqdim edə bilərtemperatur və rütubət ötürücü xüsusi emal həlləri!
Yarımkeçirici Təmiz Otaq Temperatur Rütubətinə Nəzarət Sxemi üçün Temperatur və Rütubət Sensoru
Ehtiyacınıza cavab verən məhsul tapa bilmirsiniz?üçün satış heyətimizlə əlaqə saxlayınOEM/ODM fərdiləşdirmə xidmətləri! 
