Yarımkeçirici Qaz Çatdırılma Sistemləri üçün Yüksək Performanslı IGS Səth Montajı C Möhür Filtrləri
Təsvir
HENGKO Səth Montaj Filtrləri, yarımkeçirici OEM alətlərində istifadə olunan inteqrasiya olunmuş qaz sistemlərinin tələbkar tələblərini ödəmək üçün hazırlanmışdır. 0,003 µm-də sənayedə lider olan filtrasiya təklif edən bu filtrlər, 120 slpm-də ≥99.9999999% (9-LRV) hissəcik tutma səmərəliliyi ilə müstəsna performans və etibarlılıq təmin edir.
Filtr elementi və korpusu üçün sinterlənmiş möhkəm 316L paslanmayan polad tozundan hazırlanmış bu filtrlər, C-möhür konfiqurasiyasına malik 1.125 düymlük qaz paylama sistemləri üçün hazırlanmış iki portlu komponentlərə malik SEMI F86-0304 spesifikasiyalarına uyğundur. Onlar 100°C-də maksimum 3,4 MPa giriş təzyiqini və 100°C-də maksimum 0,69 MPa işləmə təzyiqi fərqini dəstəkləyir.
Həm C tipli, həm də W tipli möhür spesifikasiyalarına uyğun olan bu ixtisaslaşmış filtrlər, hissəciklərin sərbəst buraxılması ilə aşağı axın təmizliyini təmin edir
Ra səth örtüyü iləXarici tərəfdən < 1.6 µm və RaDaxili hissədə < 0,13 µm olan bu filtrlər 460°C-yə qədər yüksək temperaturlara davam gətirmək üçün hazırlanmışdır. Asan inteqrasiya və modul dizayn təkmilləşdirmələri üçün hazırlanmış bu filtrlər quraşdırma və texniki xidməti asanlaşdırır, yarımkeçirici qaz çatdırılması və idarəetmə tətbiqlərində sistem performansını optimallaşdırmağa kömək edir.
Məhsul Xüsusiyyəti
▶ Ümumi 316L paslanmayan polad konstruksiya
▶ Miniatür dizayn, kompakt struktur, yer qənaəti
▶ Əla qaz əvəzetmə və desorbsiya xüsusiyyətləri
▶ Yüksək temperatur, yüksək təzyiq və korroziyaya davamlıdır
▶ Elektro cilalanmış 316L paslanmayan polad korpus
▶ Asan və səmərəli quraşdırma və texniki xidmət
▶ Mexaniki möhürləmə, struktur olaraq mühitə qaynaq edilməmişdir
Məlumat vərəqi
| Texniki Parametrlər | Dəyərlər |
|---|---|
| Filtr Element Materialı | 316L Paslanmayan Polad Sinterlənmiş Toz |
| Mənzil materialı | 316L Paslanmayan Polad |
| Maksimum giriş təzyiqi | 100°C-də 3.4 MPa |
| Maksimum Əməliyyat Diferensialı | 100°C-də 0,69 MPa |
| Helium Doğrulama Sızma Dərəcəsi | 1x10⁻¹¹ kub santimetr/dəq |
| Helium Test Sızma Sürəti | 1x10⁻⁹ kub santimetr/dəq |
| Səthi müalicə | Xarici Səth Ra< 1.6 μm |
| Daxili Səth Ra< 0.13 μm | |
| Maksimum işləmə temperaturu | 460°C |
| Hissəciklərin tutulma səmərəliliyi | ≥99.9999999% (9-LRV) @ 120 slpm (Referans MPPS, bütün hissəciklər) |
| Aşağı axın təmizliyi | Hissəciklərin Buraxılması:<0.03 hissəcik/litr (< 1 hissəcik/ft³) |
| Uçucu maddələr:< 10 ppb nəmlik | |
| Hissəciklərin tutulma ölçüsü | ≥0.003 μm |
| Axın diapazonu | 0 ~ 120 slpm |
Ölçü
Sifariş verə biləcəyiniz hissə nömrəsi və ölçü təfərrüatları:
| Məhsul Modeli | Axın sürəti | Hündürlük H (mm) | Filtrasiya Dəqiqliyi | Təmizləmə Səviyyəsi |
|---|---|---|---|---|
| Z01B-00637 | 10 dəqiqəlik slpm | 51.6 | 0.003 μm | C |
| Z01B-00638 | 40 dəqiqə | 82.9 | 0.003 μm | C |
| Z01B-00687 | 80 slpm | 126.2 | 0.003 μm | C |
| Z01B-00688 | 120 slpm | 167.9 | 0.003 μm | C |
Tipik Tətbiqlər
W-möhür və C-möhür, 1.125 düym və 1.5 düymlük səthə quraşdırılan modulyar qaz təchizatı sistemləri ilə istifadə üçündür.
Mesajınızı bizə göndərin:
