yarımkeçirici qaz filtrləri

Yarımkeçiricilərin istehsal prosesində nə üçün qaz filtrlərindən istifadə etmək lazımdır? 

Qaz filtrləri bir neçə kritik səbəbə görə yarımkeçiricilərin istehsalı prosesində vacibdir:

1. Çirkləndiricilərin çıxarılması

Yarımkeçiricilərin istehsalı çoxsaylı həssas prosesləri əhatə edir, burada ən kiçik çirkləndiricilər belə,

toz hissəcikləri, nəm və ya kimyəvi qalıqlar kimi zərərli təsirlər ola bilər. Qaz filtrləri çıxarılır

təmiz ətraf mühiti təmin edərək, proses qazlarından yaranan hissəciklər, çirklər və havadakı çirkləndiricilər

və yarımkeçirici lövhələrin bütövlüyünün qorunması.

2. Ultra Saflıq Standartlarının Saxlanması

Yarımkeçiricilər sənayesi istifadə olunan qazlarda çirkləri ola bildiyi kimi son dərəcə yüksək səviyyədə təmizlik tələb edir

yarımkeçirici cihazlarda qüsurlara səbəb olur. Qaz filtrləri ultra təmiz qaz keyfiyyətinə nail olmağa kömək edir, qarşısını alır

çirklənmə və məhsulların tutarlılığının və etibarlılığının təmin edilməsi.

3. Qoruyucu Avadanlıq

Qazlardakı çirkləndiricilər yalnız yarımkeçirici lövhələrə deyil, həm də həssaslara zərər verə bilər

kimyəvi buxar çökmə (CVD) reaktorları kimi istehsal prosesində istifadə olunan avadanlıqlar və

aşındırma sistemləri. Qaz filtrləri bu bahalı maşınları zədələnmədən qoruyur, riskini azaldır

fasilələr və bahalı təmir.

4. Məhsul itkisinin qarşısının alınması

Qüsurların istehsalda əhəmiyyətli itkilərə səbəb ola biləcəyi yarımkeçirici istehsalında məhsuldarlıq çox vacibdir.

Hətta tək bir hissəcik və ya kimyəvi çirk məhsuldarlığa və gəlirliyə təsir edərək məhsul itkisi ilə nəticələnə bilər.

Qaz filtrləri proses qazlarının təmiz olmasını təmin edir, çirklənməni minimuma endirir və məhsul itkisini azaldır.

5. Məhsul keyfiyyətinin təmin edilməsi

Yarımkeçirici istehsalında ardıcıllıq və keyfiyyət əsasdır. Çirklənmiş qazlar yarada bilər

uyğunsuzluqlar, etibarsız yarımkeçirici cihazlara gətirib çıxarır. Qaz filtrlərindən istifadə etməklə istehsalçılar edə bilərlər

hər bir partiyanın tələb olunan ciddi keyfiyyət standartlarına cavab verdiyinə zəmanət verin və daha yüksək cihaz əldə edin

performans və uzunömürlülük.

6. Dayanma müddətinin azaldılması

Texnoloji qazlardakı çirkləndiricilər avadanlığın sıradan çıxmasına səbəb ola bilər, texniki qulluq və ya dəyişdirilməsini tələb edir.

Qaz filtrlərindən istifadə etməklə istehsalçılar gözlənilməz dayanma müddətini azalda, əməliyyat səmərəliliyini qoruya və

kritik avadanlıqların ömrünü uzatmaq.

7. Kimyəvi Uyğunluq

Yarımkeçirici proseslərdə istifadə olunan qazların çoxu yüksək reaktiv və ya aşındırıcıdır. Qaz filtrləri var

çirkləri effektiv şəkildə süzərkən, bu sərt kimyəvi mühitlərə tab gətirmək üçün nəzərdə tutulmuşdur

təhlükəsiz və effektiv emal.

Ümumiyyətlə, qaz filtrləri yarımkeçiricinin təmizliyini, etibarlılığını və təhlükəsizliyini qorumaq üçün çox vacibdir.

istehsal prosesi, yüksək keyfiyyətli, qüsursuz yarımkeçirici məhsullar əldə etməyə kömək edərkən

qiymətli avadanlıqları da qoruyur.

Yarımkeçiricilərin istehsalı prosesində qaz filtrlərinin növləri

Yarımkeçiricilərin istehsalı prosesində müxtəlif növlərə müraciət etmək üçün müxtəlif növ qaz filtrləri istifadə olunur

qazın təmizliyi və avadanlıqların mühafizəsi ilə bağlı mərhələlər və problemlər.

Ən çox istifadə olunan qaz filtrlərinin növlərinə aşağıdakılar daxildir:

1. Hissəcik filtrləri

*Məqsəd: Proses qazlarından hissəcikləri, tozları və digər bərk çirkləndiriciləri çıxarmaq üçün.

* İstifadəsi: Vafliləri, texnoloji kameraları və avadanlıqları hissəciklərlə çirklənmədən qorumaq üçün tez-tez müxtəlif mərhələlərdə quraşdırılır.

*Materiallar: Adətən sinterlənmiş paslanmayan poladdan, PTFE və ya davamlılığı və kimyəvi uyğunluğu təmin edən digər materiallardan hazırlanır.

2. Molekulyar və ya Kimyəvi Filtrlər (Getter Filtrlər)

*Məqsəd: Proses qazlarında mövcud ola biləcək nəm, oksigen və ya üzvi birləşmələr kimi xüsusi molekulyar çirkləndiriciləri çıxarmaq üçün.

* İstifadəsi: Yüksək təmizlikli qaz tələb olunduqda, məsələn, çökmə və ya aşındırma prosesləri zamanı istifadə olunur.

*Materiallar: Çox vaxt aktivləşdirilmiş kömür, seolit ​​və ya molekulyar çirkləri tutmaq üçün xüsusi olaraq hazırlanmış digər adsorbent materiallardan istifadə etməklə tikilir.

3. Yüksək Təmizlikli Qaz Filtrləri

*Məqsəd: Ən kiçik çirkin məhsulun keyfiyyətinə təsir göstərə biləcəyi yarımkeçirici proseslər üçün vacib olan ultra yüksək təmizlik (UHP) qaz standartlarına nail olmaq.

* İstifadəsi: Bu filtrlər Kimyəvi Buxar Depoziti (CVD) və Plazma Aşındırma kimi proseslərdə istifadə olunur, burada çirklər ciddi qüsurlara səbəb ola bilər.

*Materiallar: Yüksək təzyiq və ekstremal şəraitdə bütövlüyü qorumaq üçün xüsusi membranlarla paslanmayan poladdan hazırlanmışdır.

4. Kütləvi qaz filtrləri

*Məqsəd: Qazları giriş nöqtəsində və ya istehsal xətlərinə paylamazdan əvvəl təmizləmək üçün.

* İstifadəsi: Ayrı-ayrı alətlərə və ya reaktorlara verilməzdən əvvəl qazları kütləvi şəkildə süzmək üçün qaz nəqli sistemində yuxarı axın istiqamətində yerləşdirilir.

*Materiallar: Bu filtrlər çox vaxt böyük həcmdə qazları idarə etmək üçün yüksək tutuma malikdir.

5. İstifadə Nöqtəsi (POU) Qaz Filtrləri

*Məqsəd: Hər bir xüsusi emal alətinə çatdırılan qazların hər hansı çirkləndiricilərdən azad olmasını təmin etmək.

* İstifadəsi: Qazlar texnoloji avadanlıqlara, məsələn, aşındırma və ya çökmə kameralarına daxil edilməzdən əvvəl quraşdırılmışdır.

*Materiallar: Sinterlənmiş metal və ya PTFE kimi yarımkeçirici proseslərdə istifadə olunan reaktiv qazlara uyğun materiallardan hazırlanmışdır.

6. Daxili qaz filtrləri

*Məqsəd: Paylayıcı sistem vasitəsilə hərəkət edən qazlar üçün daxili filtrasiyanı təmin etmək.

* İstifadəsi: Əsas nöqtələrdə qaz xətləri daxilində quraşdırılıb, sistem boyu davamlı filtrasiyanı təmin edir.

*Materiallar: Qazlarla kimyəvi uyğunluğu təmin etmək üçün sinterlənmiş paslanmayan polad və ya nikel.

7. Səthə quraşdırılmış qaz filtrləri

*Məqsəd: Hissəcikləri və molekulyar çirkləndiriciləri çıxarmaq üçün birbaşa qaz paneli komponentlərinə quraşdırılmalıdır.

* İstifadəsi: Dar yerlərdə ümumi olan bu filtrlər kritik tətbiqlərdə səmərəli istifadə nöqtəsi filtrasiyasını təmin edir.

*Materiallar: Yarımkeçirici istehsal qazları ilə davamlılıq və uyğunluq üçün yüksək təmizlikli paslanmayan polad.

8. Alt mikron filtrləri

*Məqsəd: Yarımkeçirici proseslərdə hələ də əhəmiyyətli qüsurlara səbəb ola biləcək çox kiçik, çox vaxt sub-mikron ölçüləri qədər kiçik hissəcikləri süzmək üçün.

* İstifadəsi: Fotolitoqrafiya kimi ultra təmiz qaz təchizatını saxlamaq üçün ən yüksək səviyyəli filtrasiya tələb edən proseslərdə istifadə olunur.

*Materiallar: Ən kiçik hissəcikləri belə effektiv şəkildə tuta bilən yüksək sıxlıqlı sinterlənmiş metal və ya keramika materialları.

9. Aktivləşdirilmiş karbon filtrləri

*Məqsəd: Üzvi çirkləndiriciləri və uçucu qazları çıxarmaq üçün.

* İstifadəsi: Gofretin çirklənməsinin və ya reaksiya pozulmalarının qarşısını almaq üçün qazlı çirkləri təmizləmək lazım olan tətbiqlərdə istifadə olunur.

*Materiallar: Üzvi molekulları adsorbsiya etmək üçün nəzərdə tutulmuş aktivləşdirilmiş karbon materialları.

10.Sinterlənmiş Metal Qaz Filtrləri

*Məqsəd: Struktur gücü və yüksək təzyiqə qarşı müqavimət təklif edərkən hissəcikləri və çirkləri effektiv şəkildə təmizləmək.

* İstifadəsi: Güclü filtrasiyanın zəruri olduğu yarımkeçirici prosesinin bir çox mərhələlərində geniş şəkildə istifadə olunur.

*Materiallar: Sərt mühitlərə və kimyəvi maddələrə tab gətirmək üçün adətən sinterlənmiş paslanmayan poladdan və ya digər metal ərintilərindən hazırlanır.

11.Hidrofobik qaz filtrləri

*Məqsəd: Nəm və ya su buxarının qaz axınına daxil olmasının qarşısını almaq üçün, hətta az miqdarda nəmə həssas olan müəyyən proseslərdə çox vacibdir.

* İstifadəsi: Tez-tez vafli qurutma və ya plazma aşındırma kimi proseslərdə istifadə olunur.

*Materiallar: PTFE kimi hidrofobik membranlar, qazların nəmlə çirklənmədən azad olmasını təmin etmək üçün.

Bu müxtəlif növ qaz filtrləri spesifik xüsusiyyətlərinə, material uyğunluğuna və yarımkeçirici istehsal proseslərinin unikal şərtlərinə uyğunluğuna əsasən diqqətlə seçilir. Filtrlərin düzgün kombinasiyası qazın təmizliyini ən yüksək səviyyədə saxlamaq, prosesin sabitliyini təmin etmək və yarımkeçirici cihazlarda qüsurların qarşısını almaq üçün vacibdir.

Yarımkeçirici qaz filtrləri haqqında bəzi tez-tez verilən suallar

Tez-tez verilən suallar 1:

Yarımkeçirici qaz filtrləri nədir və nə üçün vacibdir?

Yarımkeçirici qaz filtrləri yarımkeçiricilərin istehsalı prosesində vacib komponentlərdir.

Onlar emal qazlarından çirkləri və çirkləndiriciləri çıxarmaq üçün nəzərdə tutulmuşdur, məsələnoksigen,

azot, hidrogen və müxtəlif kimyəvi qazlar.

Bu çirklər yarımkeçirici cihazların keyfiyyətinə, məhsuldarlığına və etibarlılığına əhəmiyyətli dərəcədə təsir göstərə bilər.

Qaz axınlarını effektiv şəkildə süzməklə, yarımkeçirici qaz filtrləri aşağıdakılara kömək edir:

1.Yüksək təmizliyi qoruyun:

İstehsal prosesində istifadə olunan qazların cihazın işini pisləşdirə bilən çirkləndiricilərdən təmizləndiyinə əmin olun.

2. Avadanlığın zədələnməsinin qarşısının alınması:

Həssas yarımkeçirici avadanlığı hissəciklərdən və kimyəvi çirklənmədən qoruyun ki, bu da bahalı dayanma və təmirə səbəb ola bilər.

3. Məhsulun məhsuldarlığını yaxşılaşdırın:

Qazla əlaqəli çirklərin səbəb olduğu qüsurları və nasazlıqları azaldın, nəticədə daha yüksək məhsuldarlıq əldə edin.

4.Cihazın etibarlılığını artırın:

Çirklənmə ilə bağlı problemlər səbəbindən yarımkeçirici cihazların uzunmüddətli deqradasiyasını minimuma endirmək.

Tez-tez verilən suallar 2:

Yarımkeçirici qaz filtrlərinin ümumi növləri hansılardır?

Yarımkeçiricilərin istehsalında bir neçə növ qaz filtri istifadə olunur, hər biri çıxarmaq üçün nəzərdə tutulmuşdur

çirkləndiricilərin xüsusi növləri.

Ən çox yayılmış növlərə aşağıdakılar daxildir:

1. Hissəcik filtrləri:

Bu filtrlər qaz axınlarından toz, liflər və metal hissəciklər kimi bərk hissəcikləri təmizləyir.

Onlar adətən sinterlənmiş metal, keramika və ya membran filtrləri kimi materiallardan hazırlanır.

2. Kimyəvi filtrlər:

Bu filtrlər su buxarı, karbohidrogenlər və aşındırıcı qazlar kimi kimyəvi çirkləri təmizləyir.

Onlar tez-tez aktivləşdirilmiş karbon kimi materiallardan istifadə edərək, adsorbsiya və ya udma prinsiplərinə əsaslanır.

molekulyar ələklər və ya kimyəvi sorbentlər.

3. Qarışıq filtrlər:

Bu filtrlər hissəcik və kimyəvi filtrlərin imkanlarını birləşdirir və hər iki növdən təmizlənir

çirkləndiricilər. Onlar tez-tez yüksək təmizliyin vacib olduğu kritik tətbiqlərdə istifadə olunur.

Tez-tez verilən suallar 3:

Yarımkeçirici qaz filtrləri necə seçilir və layihələndirilir?

Yarımkeçirici qaz filtrlərinin seçimi və dizaynı bir sıra amilləri əhatə edir, o cümlədən:

* Qazın təmizliyinə dair tələblər:

Xüsusi qaz axını üçün istənilən təmizlik səviyyəsi filtrin filtrasiya səmərəliliyini və tutumunu müəyyən edir.

* Axın sürəti və təzyiq:

Süzüləcək qazın həcmi və iş təzyiqi filtrin ölçüsünə, materialına və konfiqurasiyasına təsir göstərir.

* Çirkləndirici növü və konsentrasiyası:

Qaz axınında mövcud olan xüsusi çirkləndirici növləri filtr mühitinin seçimini və onun məsamə ölçüsünü diktə edir.

*Temperatur və rütubət:

İş şəraiti filtrin işinə və xidmət müddətinə təsir edə bilər.

*Xərc və texniki xidmət:

Süzgəcin ilkin dəyəri və onun cari təmir tələbləri nəzərə alınmalıdır.

Bu amilləri diqqətlə nəzərdən keçirərək, mühəndislər spesifikliyə cavab verən qaz filtrlərini seçə və dizayn edə bilərlər

yarımkeçirici istehsal prosesinin ehtiyacları.

Yarımkeçiricilər istehsalında qaz filtrləri nə qədər tez-tez dəyişdirilməlidir?

Yarımkeçiricilər istehsalında qaz filtrlərinin dəyişdirilməsi tezliyi bir neçə amildən, o cümlədən növündən asılıdır

proses, çirkləndiricilərin səviyyəsi və istifadə olunan filtrin xüsusi növü. Bir qayda olaraq, qaz filtrləri müntəzəm olaraq dəyişdirilir

çirklənmə riskinin qarşısını almaq üçün texniki xidmət cədvəli,tez-tez hər 6-12 ayda bir, istifadə şərtlərindən asılı olaraq

və filtr istehsalçısının tövsiyələri.

Bununla belə, dəyişdirmə cədvəlləri əməliyyat mühitindən asılı olaraq geniş şəkildə dəyişə bilər. Məsələn:

*Yüksək Çirkləndirici Proseslər:

Filtrlərin yüksək səviyyələrə məruz qalması halında onları daha tez-tez dəyişdirmək lazım gələ bilər

hissəcik və ya molekulyar çirklənmə.

* Kritik Tətbiqlər:

Çox yüksək təmizlik tələb edən proseslərdə (məsələn, fotolitoqrafiya) filtrlər tez-tez dəyişdirilir

qaz keyfiyyətinin pozulmamasını təmin etmək üçün qabaqcadan.

Filtrdə diferensial təzyiqin monitorinqi filtrin nə vaxt dəyişdirilməsinin lazım olduğunu müəyyən etmək üçün ümumi üsuldur.

Çirkləndiricilər yığıldıqca, filtrdə təzyiqin düşməsi artır və bu, səmərəliliyin azaldığını göstərir.

Filtrlərin səmərəliliyi aşağı düşməmişdən əvvəl dəyişdirilməsi çox vacibdir, çünki qazın təmizliyinin hər hansı pozulması əhəmiyyətli qüsurlara səbəb ola bilər,

məhsuldarlığı azaldır və hətta avadanlıqların zədələnməsinə səbəb olur.

Yarımkeçirici tətbiqlər üçün qaz filtrləri hansı materiallardan hazırlanır?

Yarımkeçirici tətbiqlərdə istifadə olunan qaz filtrləri ən yüksək təmizlik standartlarını saxlaya bilən materiallardan hazırlanır

və istehsalda tapılan sərt mühitlərə tab gətirin. Ümumi materiallara aşağıdakılar daxildir:

*Paslanmayan Polad (316L): Kimyəvi davamlılığına, mexaniki möhkəmliyinə və ən çox istifadə edilən materialdır

sinterləmə texnologiyasından istifadə edərək dəqiq məsamə ölçüləri ilə hazırlanma qabiliyyəti. Həm reaktivi süzmək üçün uyğundur

və inert qazlar.

*PTFE (politetrafloroetilen): PTFE yüksək reaktiv və ya aşındırıcı filtrasiya üçün istifadə edilən kimyəvi cəhətdən təsirsiz bir materialdır

qazlar. Mükəmməl kimyəvi uyğunluq və hidrofobik xüsusiyyətlərə malikdir, bu da onu nəmə həssaslıq üçün ideal edir

proseslər.

*Nikel və Hastelloy:

Bu materiallar yüksək temperatur tətbiqləri üçün və ya aqressiv kimyəvi maddələrlə əlaqəli proseslər üçün istifadə olunur

paslanmayan poladın xarab ola biləcəyi yerlərdə.

*Keramik:

Seramik filtrlər həddindən artıq temperatur müqavimətinin tələb olunduğu tətbiqlər üçün və ya alt mikron üçün istifadə olunur

hissəciklərin filtrasiyası.

Materialın seçimi qazın növündən, reaktiv növlərin mövcudluğundan, temperaturdan və asılıdır

digər proses parametrləri. Materiallar qeyri-reaktiv olmalıdır ki, onlara heç bir çirk daxil olmasın

və ya hissəciklərin prosesə daxil edilməsi, beləliklə, yarımkeçiricilərin istehsalı üçün tələb olunan qazın təmizlik səviyyələrini saxlamaq.

Yarımkeçirici istehsalında istifadə nöqtəsi (POU) filtrlərinin rolu nədir?

İstifadə Nöqtəsi (POU) filtrləri yarımkeçiricilərin istehsalında vacibdir, çünki onlar qazların dərhal təmizləndiyini təmin edir.

proses alətlərinə daxil olur. Bu filtrlər qaz axınına daxil ola biləcək çirkləndiricilərə qarşı son qorunma təmin edir

saxlama, daşıma və ya paylama zamanı, bununla da prosesin sabitliyini və məhsulun keyfiyyətini artırır.

POU filtrlərinin əsas üstünlükləri:

*Çirkinliyin vaflisə çatmasının qarşısını almaq üçün kritik avadanlıqlara (məsələn, aşındırma və ya çökmə kameraları) yaxın yerləşdirilmişdir.

*Qazla işləmə sistemi və ya ətraf mühitə məruz qalma nəticəsində daxil ola biləcək həm hissəcikləri, həm də molekulyar çirkləri təmizləyin.

*Mümkün olan ən yüksək qaz keyfiyyətinin texnoloji alətə çatdırılmasını təmin edin, avadanlığı qoruyun və istehsal olunan cihazların keyfiyyətini artırın.

*Proses dəyişkənliyini azaldın, məhsuldarlığı artırın və qüsur səviyyələrini azaldın.

*Hətta kiçik çirklərin məhsuldarlığa və məhsulun etibarlılığına əhəmiyyətli dərəcədə təsir göstərə biləcəyi qabaqcıl yarımkeçirici mühitlərdə əvəzolunmazdır.

Qaz filtrləri yarımkeçirici proseslərdə avadanlığın dayanmasının qarşısını necə alır?

Qaz filtrləri texnoloji qazların davamlı olaraq təmiz olmasını təmin etməklə yarımkeçirici proseslərdə avadanlıqların dayanmasının qarşısını alır.

istehsal avadanlığına zərər verə bilən çirkləndiricilər. Yarımkeçiricilərin istehsalı yüksək istifadəni nəzərdə tutur

çökmə kameraları, plazma aşındırma maşınları və fotolitoqrafiya sistemləri daxil olmaqla həssas avadanlıqlar.

Toz, nəm və ya reaktiv çirklər kimi çirkləndiricilər bu maşınlara daxil olarsa, onlar bir sıra problemlər yarada bilər,

klapanların və nozzlərin tıxanmasından vafli səthlərin və ya reaktorun daxili hissələrinin zədələnməsinə qədər.

İstehsalçılar yüksək keyfiyyətli qaz filtrlərindən istifadə etməklə bu çirkləndiricilərin daxil olmasının qarşısını alır, onların yaranma ehtimalını azaldır.

planlaşdırılmamış texniki xidmət və avadanlıqların nasazlığı. Bu, sabit istehsal cədvəllərini saxlamağa, minimuma endirməyə kömək edir

bahalı dayanma müddəti və təmir və ya dəyişdirmə ilə bağlı əhəmiyyətli xərclərdən qaçınmaq.

Bundan əlavə, yaxşı saxlanılan filtrlər axın tənzimləyiciləri, klapanlar və reaktorlar kimi əsas komponentlərin xidmət müddətini uzatmağa kömək edir.

bununla da istehsal prosesinin ümumi səmərəliliyini və gəlirliliyini artırır.

Beləliklə, yarımkeçirici qaz filtrləri haqqında bəzi təfərrüatları yoxladıqdan sonra, hələ də bir neçə sualınız varsa.

Yüksək keyfiyyətli qaz filtrasiya həlləri ilə yarımkeçiricilərin istehsal prosesini optimallaşdırmağa hazırsınız?

Ehtiyaclarınızı ödəmək üçün ekspert rəhbərliyi və fərdiləşdirilmiş həllər üçün bu gün HENGKO ilə əlaqə saxlayın.

Yarımkeçirici qaz filtri haqqında bəzi təfərrüatları yoxladıqdan sonra daha çox sualınız olarsa?

Yüksək keyfiyyətli qaz filtrasiya həlləri ilə yarımkeçiricilərin istehsal prosesini optimallaşdırmağa hazırsınız?

Ehtiyaclarınızı ödəmək üçün ekspert rəhbərliyi və fərdiləşdirilmiş həllər üçün bu gün HENGKO ilə əlaqə saxlayın.

Bizə e-poçt göndərinka@hengko.coməlavə məlumat üçün.

Komandamız istehsal səmərəliliyinizi və məhsul keyfiyyətinizi artırmaqda sizə kömək etmək üçün buradadır.