Yarımkeçirici qaz filtrləri:
Çip istehsalında qüsursuz qaz təmizliyinin təmin edilməsi
Dəqiqlik və təmizliyin əsas olduğu yarımkeçirici istehsalının mürəkkəb dünyasında keyfiyyət
istifadə olunan qazlar prosesin uğurunun müəyyən edilməsində mühüm rol oynayır. Çirkləri, hətta sonsuz kiçik səviyyədə
mikroçiplərin zərif dövrəsini pozaraq onları qüsurlu və yararsız hala sala bilər. Qorunmaq üçün
bu kritik prosesdə yarımkeçirici qaz filtrləri çirkləndiriciləri diqqətlə təmizləyən amansız qoruyucu kimi dayanır.
və istehsal xətləri vasitəsilə axan qazların təmiz keyfiyyətinin təmin edilməsi.
Sinterlənmiş metal filtrlərin bir çox əla xüsusiyyətləri və üstünlükləri var
1. Ən müasir Təmiz Otaq Mühitində hazırlanmışdır
Bu filtrlər ən müasir təmiz otaqda, hər hansı potensial çirklənməni minimuma endirmək üçün qüsursuz şəraitin diqqətlə saxlanıldığı bir mühitdə doğulur. Onlar təmizlənmiş hava atmosferi altında dəqiq qaynaqdan başlayaraq ciddi istehsal prosesindən keçirlər. Sonrakı deionlaşdırılmış suyun yuyulması, ardınca yüksək təzyiqli, süzülmüş azotun təmizlənməsi, qalan hissəcikləri aradan qaldırır və hissəciklərin tökülməsi riskini azaldır.
2. Müstəsna Hissəciklərin Təmizləmə Effektivliyi
SEMI F38 və ISO 12500 sınaq metodları ilə müəyyən edilmiş ciddi standartlara riayət etməklə, 0,003 μm hissəciklər üçün 9 LRV-lik əla filtrasiya səmərəliliyi ilə bu filtrlər korroziya nəticəsində əmələ gələn hissəcikləri və hərəkət edən hissələrdən əmələ gələn hissəcikləri effektiv şəkildə təmizləyir və onların təmizliyini təmin edir. qazlar.
3. Üstün Mexaniki Gücü
Tələbkar istehsal proseslərində və tez-tez yüksək qaz təzyiqlərindən istifadə edən mühitlərdə müstəsna davamlılığı təmin etmək üçün ciddi şəkildə sınaqdan keçirilmiş bu filtrlər bütün ömrü boyu sarsılmaz performans təmin edir.
4. Ən Yüksək Sənaye Standartlarını aşmaq
Yarımkeçiricilərin emalı üçün sərt qazla işləyən filtrasiya tələblərini üstələyən bu filtrlər, yarımkeçiricilərin istehsalında qaz ötürmə sistemlərinin tələb etdiyi kritik filtrasiya səmərəliliyinə, dəqiq axın nəzarətinə və təhlükəsizlik standartlarına cavab vermələrini təmin etmək üçün ciddi sınaqdan keçirlər.
5. Təhlükəsizliyə sarsılmaz sadiqlik
Yanan, aşındırıcı, zəhərli və piroforik proses qazlarına məruz qalmamaq üçün filtr korpusları 1x10-9 atm scc/saniyədən az əhəmiyyətli sızma sürətinə nail olmaq üçün ciddi sızma testindən keçir. Təhlükəsizliyə bu sarsılmaz sadiqlik təhlükəli qazların saxlanılmasını və zərərin qarşısının alınmasını təmin edir.
6. Chipmaking Mükəmməlliyi üçün güzəştsiz Saflıq
Müstəsna filtrasiya imkanları, təhlükəsizliyə sarsılmaz sadiqlik və ən yüksək sənaye standartlarına riayət etməklə, bu qaz filtrləri yarımkeçiricilərin istehsalının mürəkkəb prosesinin qorunmasında mühüm rol oynayır. Onlar saflığın keşikçiləri kimi dayanaraq istehsal xətlərindən yalnız ən təmiz qazların axmasını təmin edərək müasir dünyamızı gücləndirən yüksək məhsuldar mikroçiplərin yaradılmasına zəmin yaradırlar.
Yarımkeçirici filtrlərin növləri
Yarımkeçirici filtrlər müxtəlif tətbiqlərdə istifadə olunur, o cümlədən:
* Elektronika istehsalı:
Yarımkeçirici filtrlər ultratəmiz sudan, qazlardan və yarımkeçiricilərin istehsalında istifadə olunan kimyəvi maddələrdən hissəcikləri çıxarmaq üçün istifadə olunur.
* Kimyəvi mexaniki planarlaşdırma (CMP):
Yarımkeçirici filtrlər yarımkeçirici vafliləri cilalamaq üçün istifadə olunan CMP şlamlarından hissəcikləri çıxarmaq üçün istifadə olunur.
* Biotibbi:
Yarımkeçirici filtrlər tibbi diaqnostika və müalicələrdə istifadə olunan mayelərdən hissəcikləri çıxarmaq üçün istifadə olunur.
* Ekoloji:
Yarımkeçirici filtrlər havadan və sudan hissəcikləri çıxarmaq üçün istifadə olunur.
Yarımkeçirici filtrlərin dörd əsas növü var:
1. Membran filtrləri:
Membran filtrləri hissəcikləri tutarkən mayelərin keçməsinə imkan verən nazik, məsaməli bir filmdən hazırlanır.
2. Dərinlik filtrləri:
Dərinlik filtrləri, filtrdən axan hissəcikləri tutan qalın, əyri material yatağından hazırlanır.
3. Adsorbent filtrlər:
Adsorbent filtrlər hissəcikləri çəkən və saxlayan materialdan hazırlanır.
4. Sinterlənmiş metal filtrlər
Sinterlənmiş metal filtrlər, yarımkeçiricilərin istehsalında geniş istifadə olunan bir növ dərinlik filtridir. Onlar incə metal tozunu məsaməli bir quruluşa sinterləməklə hazırlanır. Sinterlənmiş metal filtrlər yüksək davamlılığı, yüksək filtrasiya səmərəliliyi və yüksək temperatur və təzyiqlərə tab gətirmə qabiliyyəti ilə tanınır.
Yarımkeçiricilərin istehsalı üçün sinterlənmiş metal filtrlərin üstünlükləri:
* Yüksək davamlılıq:
* Yüksək filtrasiya səmərəliliyi:
* Uzun ömür:
* Kimyəvi uyğunluq:
Yarımkeçiricilərin istehsalında sinterlənmiş metal filtrlərin tətbiqi:
* Qazın təmizlənməsi:
Sinterlənmiş metal filtrlər yüksək keyfiyyətli yarımkeçirici cihazların istehsalını təmin etməyə kömək edən yarımkeçiricilərin istehsalı prosesinin vacib hissəsidir.
Müəyyən bir tətbiqdə istifadə olunan yarımkeçirici filtrin növü çıxarılan hissəciklərin ölçüsündən, süzülən mayenin növündən və istənilən filtrasiya səviyyəsindən asılıdır.
Yarımkeçirici filtrlərin müxtəlif növlərini ümumiləşdirən bir cədvəl:
Filtr növü | Təsvir | Tətbiqlər | Şəkil |
---|---|---|---|
Membran filtrləri | Hissəcikləri tutarkən mayelərin keçməsinə imkan verən nazik, məsaməli filmdən hazırlanmışdır. | Elektronika istehsalı, CMP, biotibbi, ətraf mühit | |
Dərinlik filtrləri | Filtrdən axan hissəcikləri tutan qalın, əyri material yatağından hazırlanmışdır. | CMP, biotibbi, ekoloji | |
Adsorbent filtrlər | Hissəcikləri çəkən və saxlayan materialdan hazırlanmışdır. | Elektronika istehsalı, CMP, biotibbi, ətraf mühit | |
Sinterlənmiş metal filtrlər | İncə metal tozunun məsaməli bir quruluşa sinterlənməsi ilə hazırlanmışdır. | Qazın təmizlənməsi, kimyəvi filtrasiya, ultratəmiz su filtrasiyası, CMP məhlulu filtrasiyası | Yarımkeçiricilər üçün sinterlənmiş metal filtrlər |
Ərizə
Sinterlənmiş metal yarımkeçirici qaz filtrləri yarımkeçirici sənayesində müxtəlif tətbiqlərdə geniş istifadə olunur. Onların yüksək filtrasiya səmərəliliyi, davamlılığı və yüksək temperatur və təzyiqlərə tab gətirmək qabiliyyəti kimi unikal xüsusiyyətləri onları yarımkeçiricilər istehsalında qaz nəqli sistemlərinin vacib komponentinə çevirir.
Sinterlənmiş metal yarımkeçirici qaz filtrlərinin bəzi xüsusi tətbiqləri bunlardır:
1. Vafli istehsalı:
Sinterlənmiş metal filtrlər vafli istehsalında istifadə olunan azot, hidrogen və oksigen kimi qazları təmizləmək üçün istifadə olunur. Bu qazlar epitaksial böyümə, aşındırma və dopinq kimi proseslər üçün vacibdir.
2. Kimyəvi filtrasiya:
Sinterlənmiş metal filtrlər, turşular, əsaslar və həlledicilər kimi yarımkeçirici istehsalda istifadə olunan kimyəvi maddələri süzmək üçün istifadə olunur. Bu kimyəvi maddələr təmizləmə, aşındırma və cilalama daxil olmaqla müxtəlif məqsədlər üçün istifadə olunur.
3. Ultra təmiz su filtrasiyası:
Sinterlənmiş metal filtrlər yarımkeçirici istehsalında istifadə olunan ultra təmiz suyu (UPW) süzmək üçün istifadə olunur. UPW vaflilərin təmizlənməsi və yuyulması, həmçinin kimyəvi maddələrin hazırlanması üçün vacibdir.
4. CMP məhlulu filtrasiyası:
Sinterlənmiş metal filtrlər yarımkeçirici vafliləri cilalamaq üçün istifadə edilən CMP şlamlarını süzmək üçün istifadə olunur. CMP mikroçiplərin hazırlanmasında mühüm prosesdir.
5. İstifadə nöqtəsi (POU) filtrasiyası:
Sinterlənmiş metal filtrlər tez-tez ən yüksək filtrasiya səviyyəsini təmin etmək üçün birbaşa istifadə nöqtəsində quraşdırılan POU filtrləri kimi istifadə olunur. POU filtrləri qazın təmizliyinin kritik olduğu tətbiqlər üçün, məsələn, mikroprosessorların və digər yüksək performanslı cihazların istehsalında xüsusilə vacibdir.
6. Yüksək təmizlikli qazla işləmə:
Sinterlənmiş metal filtrlər yarımkeçirici istehsalında istifadə olunan qazlardan çirkləndiriciləri təmizləmək üçün yüksək təmizlikli qaz idarəetmə sistemlərində istifadə olunur. Bu çirkləndiricilərə hissəciklər, nəmlik və üzvi birləşmələr daxil ola bilər.
7. Mikroelektronika istehsalı:
Sinterlənmiş metal filtrlər kompüterlər, planşetlər, mobil telefonlar, IoT sensorları və idarəetmə cihazları kimi mikroelektronikanın istehsalında istifadə olunur.
8. Mikro-elektromexaniki sistemlərin (MEMS) filtrasiyası:
Sinterlənmiş metal filtrlər mikroelektromexaniki sistemlərdən çirkləndiricilərin çıxarılması prosesi olan MEMS filtrasiyasında istifadə olunur. MEMS müxtəlif tətbiqlərdə, o cümlədən sensorlar, aktuatorlar və transduserlərdə istifadə olunur.
9. Məlumat saxlama qurğusunun filtrasiyası:
Sinterlənmiş metal filtrlər məlumat saxlama cihazlarının filtrasiyasında istifadə olunur, bu, sabit disklər və bərk vəziyyətdə olan disklər kimi məlumat saxlama cihazlarından çirkləndiricilərin çıxarılması prosesidir.
Bu xüsusi tətbiqlərə əlavə olaraq, sinterlənmiş metal yarımkeçirici qaz filtrləri yarımkeçirici sənayesində müxtəlif digər tətbiqlərdə də istifadə olunur. Onların universallığı və etibarlılığı onları yarımkeçirici istehsalçıları üçün vacib alətə çevirir.
Yüksək keyfiyyətli sinterlənmiş metal yarımkeçirici qaz filtrləri axtarırsınız?
HENGKO yarımkeçirici istehsal sistemlərində OEM həlləri üçün əsas tərəfdaşınızdır.
Bizim dəqiqliklə hazırlanmış filtrlərimiz proseslərinizdə etibarlılıq və səmərəliliyi təmin edərək, sizə rəqabətli bazarda üstünlüyü təklif edir.
Niyə HENGKO filtrlərini seçməlisiniz?
* Üstün keyfiyyət və davamlılıq
* Xüsusi ehtiyaclarınıza uyğunlaşdırılmış həllər
* Yarımkeçiricilərin istehsalı üçün təkmilləşdirilmiş performans
Filtrləmə problemlərinin istehsalınızı dayandırmasına imkan verməyin.
Sinterlənmiş metal filtrlərimizin istehsal sisteminizdə necə inqilab yarada biləcəyini araşdırmaq üçün bu gün bizimlə əlaqə saxlayın.
Bizimlə əlaqə saxlayınka@hengko.com
HENGKO ilə tərəfdaş olun və yarımkeçirici istehsalında mükəmməlliyə doğru addım atın!